Vakuummanipulatorer används för att flytta eller placera wafer eller föremål i specialiserade vakuumkammare och för materialhanteringsapplikationer. De ger ökad flexibilitet eftersom stela länkar inte används. Vissa vakuummanipulatorer inkluderar monteringsanordningar eller sluteffektorer. Andra inkluderar lastlås och wobble sticks. Ofta används vakuummanipulatorer i samband med vakuumkammare. Waferhanterare eller robotar är en automatiserad typ av vakuummanipulatorer för att flytta wafers eller substrat in i eller ut ur en PVD, CVD, plasmaetsning eller andra vakuumbearbetningskammare. För att skapa en vakuumkammare, pumpar en vakuummotor eller en vakuummotor fysiskt luften från kärlet tills det önskade subatmosfäriska trycket uppnås. Om vakuumkammaren innehåller ett ultrahögt vakuum måste en ultrahögvakuummanipulator och en ultrahögvakuummotor användas.
1. Suckerns unika design kan få föremålet att stiga eller falla efter behag, men också rotera i vilken riktning som helst av sugkoppens fasta säte för att göra operationen bekväm och exakt. Fjärrkontrollens design ger bekvämlighet till driften och säkerställer användarnas säkerhet.
2. Klämman på vakuumsugmaskinen antar importerad sugplatta, med stark adsorptionskraft, hög säkerhet och skydd av produkter från skador.
3. Vakuumkranen kan enkelt bära föremål med ömtålig, svårlyftbar och slät yta för att förbättra effektiviteten, minska arbetskraften och spara företagskostnader.